产品介绍
- Gas Purification System
- Gas Purification System是提纯Bulk或特殊气体，让Bulk或特殊气体变成适合于半导体、FPD、LED还有Solar制造工程的纯度，并且符合用户的品质条件。 大规模集成化、高容量等技术要求越来越复杂，排除抑制发展的障碍物，创造出高效率、高效益是现在最重要的。 WONIK HOLDINGS的提纯系统是正是最适合这种趋势的装置。
WCP Series
- 产品特征
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- 为了OLED工程，提纯/循环Inert气体的系统
- 为了创造Chamber内适当的环境而需要的 Quick purging
- 循环高纯度Inert，保持适当环境
- 产品规格
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Chamber
- 产品特征
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是一个除去氧气与水分来创造所要求的气体环境的密闭设备。
切断外部Impurity的接触，并且与Circulation Purifier连接在一起，
可创造Inert Gas Balance环境。采用了Module式设计，可简单地添加在原来使用的设备上。
可选择气体提纯系统或者可结合一般应用程序使用。
- 基本构造
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- Size : Customized
- Material : Stainless Steel 304 construction
- Leak Rate : <0.05Vol % (acc. ISO 10648-2, Class1)
- Vacuum port and feedthrough
- Inlet/Outlet Filter (Class13)
- Scratch Resistant and anti : UV Polycarbonate windows
- Glove Box gloves (Option : size, materials)
- Glove Box glove port (Option : size, materials)
- Led Lamp
- Stainless Steel Shelving
- 特征
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- Add Module Box
- Glove Port
- Stainless Steel Construction
- Polycarbonate Window
- Adjustable Shelving
- Castors for easy mobility
- Anti-Reflection Film
- Leveling Feet
- 选项
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- Safety Door Interlock
- Camera
- One Touch Door
- Module Box
- Feedthrough
- Filters (Ulpa, Hepa, Solvent)
- Antechamber
- Stainless Steel Piping
- Inert Gas Purification system
- Equipment
- Freezers
- Evaporators
- View Port
- Vacuum Oven
- Hotplates
- Spin Coaters
- Vacuum Cleaners
- Safety Door Locks
- Oxygen and Moisture Analyzer (Add Port up to 4)
- Auto Purge Function
- Chiller
- Heat Exchanger
- Vacuum Dry pump
- Custom Shelving
- Other Options available