产品介绍
- Gas Supply System
- WONIKHOLDINGS提供的Gas Supply System是为了把半导体、FPD、LED还有Solar制造工程时必需要的特殊Gas按照一定流量与压力安全供应的装置， 而且可以通过各种安全装置与程序，气体泄漏时可自动解决一系列的危险与操作失误而导致的第二次事故。 给世界屈指可数的企业、Fab、研究所与大学提供着高质量Module式设计系统，为了扩大产品领域，升级了产品的灵活性。 ”把特殊气体的高压或低压状态调节为制作工程中需要的压力，并且防止微尘的发生与泄露来切断外部气体污染的可能性。 是可以把干净纯洁的气体安全供应给制造半导体的设备，也可防止人为错误的系统控制装置。”
VMB/VMP
- 产品特征
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- 以PLC + Touch Screen为基础的自动化系统 (OMRON, AB, SIEMENS)
- 关于运转与维护的所有方面都已经认证好了的自动程序系统
- Inlet 1~2 & Outlet 4~12 供应方式
- 1~100SLPM 供应流量
- 用户可设定关于所有的提醒警报
- 排气压力监控系统
- 紧急停止功能[EMO]
- Multi-level password protection
- 诊断画面
- DC Power Module 2重化
- S-Mark 安全认证
- 特定高压气体 Cylinder Cabinet 安全认证
- 防爆认证 (可燃性气体)
- 附加参数
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- Weight Scale
- Heating Line
- UVIR
- Valve Shutter
- High Temp Sensor
- Lamp
- Leak Detector