产品介绍
- Gas Purification System
- Gas Purification System是提纯Bulk或特殊气体，让Bulk或特殊气体变成适合于半导体、FPD、LED还有Solar制造工程的纯度，并且符合用户的品质条件。 大规模集成化、高容量等技术要求越来越复杂，排除抑制发展的障碍物，创造出高效率、高效益是现在最重要的。 WONIK HOLDINGS的提纯系统是正是最适合这种趋势的装置。
Solvent Trap
- 产品特征
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- OLED工程中，可除去Chamber内发生的VOC的装置
- 可与Circulation Purifier连接在一起使用的装置
- 基本构造
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- Manifold : Stainless steel piping
- Analyzer
- Absorber Chemical
- Gate Valve
- Oil Free Diaphragm pump
- Regulator
- Safety Cabinet
- Air Valve
- Jacket Heater
- Flowmeter
- Pressure Transducer
- Pressure Gauge
- 特征
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- Applicable Gas : Inert Gas
- flow Rate : 80~8000slpm
- Dimension : Customized
- PLC : Mitsubishi/Omron
- Touch Screen : PFX GP-4501-TAD
- Heater Materials : Inner_Sillica Fiber and Aluminum coating Outer_Sillica Fiber
- Pneumatic Supply : 70~100psig, Clean Dry Air or N2
- Exhaust Gas Temperature : <50℃
- Noise : <60dB
- Regeneration Gas : N2 (Hot)
- 选项
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- Glove Box Integration
- Customized Size
- Analyzer Type
- Regeneration Type (Manual, Full Auto)
- Single(Manual) / Dual Type (Auto Change)