产品介绍
- Gas Purification System
- Gas Purification System是提纯Bulk或特殊气体，让Bulk或特殊气体变成适合于半导体、FPD、LED还有Solar制造工程的纯度，并且符合用户的品质条件。 大规模集成化、高容量等技术要求越来越复杂，排除抑制发展的障碍物，创造出高效率、高效益是现在最重要的。 WONIK HOLDINGS的提纯系统是正是最适合这种趋势的装置。
AMG & APG Series
- 产品特征
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- 小型 POU (Point of Use) purifier
- 提纯反应 : 不可逆反应
- Column 寿命 : 需要替换 (Getter Column)
- Column 再生 : 不可再生
- 供应流量 : 5-100 slpm
- 产品规格
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