产品介绍
- Gas Purification System
- Gas Purification System是提纯Bulk或特殊气体，让Bulk或特殊气体变成适合于半导体、FPD、LED还有Solar制造工程的纯度，并且符合用户的品质条件。 大规模集成化、高容量等技术要求越来越复杂，排除抑制发展的障碍物，创造出高效率、高效益是现在最重要的。 WONIK HOLDINGS的提纯系统是正是最适合这种趋势的装置。
ACG Series
- 产品特征
-
- 通过PLC与 Touch Screen的自动化系统
- 提纯媒体：吸附剂与Getter
- 提纯反应: 可逆反应 (吸附剂) / 不可逆反应 (Getter)
- Column 寿命: 需要替换 (Getter Column)
- Column 再生: 可再生 (工程气体)
- 供应流量: 20-150 Nm3/hr
- 产品规格
-
